双头抛光机用几极电机

摘要：图1给出了一种抛光机的简图.其基本组成部分是一个转动着的圆盘和一个圆晶片固定装置.两者都可施力于圆晶片并使其旋转,在含......

图1给出了一种抛光机的简图.其基本组成部分是一个转动着的圆盘和一个圆晶片固定装置.两者都可施力于圆晶片并使其旋转,在含

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